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超高纯气体系统

UHP 隔膜阀

直通型、面板型、多口型与前驱体钢瓶隔膜阀,覆盖最高纯气体线路。

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UHP 隔膜阀
技术参数

技术规格。

应用场景 半导体、电子特气、光伏
型式 直通 / 面板 / 多口 / 前驱体钢瓶
洁净处理 无尘室清洗与氦检
产品特点

为哪些目标而设计。

01

面向气体输送的万亿分之一(ppt)级污染控制。

02

隔膜密封,实现无泄漏、无颗粒运行。

03

提供 ALD 阀与定制化前驱体阀组集成。

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